电子级氯气
电子级氯气,产品纯度大于99.9995%,总杂质含量小于3ppm,产品经国内多家光导纤维及集成电路企业使用证明,产品效果已达到国际先进水平。
物化特性
1、黄绿色的气体、有毒、有刺激性气味。
2、密度比空气大,溶沸点较低,能溶于水。易溶于有机溶剂。
3,高纯氯是一种强腐蚀性、强氧化氢且有毒的物质,除少数惰性气体外,几乎能与所有元素形成化合物,对人体生物有严重的毒害作用。
4、高纯氯在工作环境中的空气中最高允许含量为1X10-6。
用 途
电子级氯气主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等技术领域。
参 数
电子级氯气产品技术指标
项目 Items | 产品指标 Specification | GB/T18994标准 Standard | |
氯气(Cl2)的体积分数/10-2 | ≥99.999 | ≥99.9995 | 99.996 |
氢气(H2)的体积分数/10-6 | <0.5 | <0.5 | / |
氧气(O2)的体积分数/10-6 | <1 | <1 | 4 |
氮气(N2)的体积分数/10-6 | <2 | <1 | 20 |
二氧化碳(CO2)的体积分数/10-6 | <4 | <0.5 | 10 |
一氧化碳(CO)的体积分数/10-6 | <0.5 | <0.5 | 1 |
烃(C1-C2)体积分数/10-6 | <0.1 | <0.5 | 1 |
水(H2O)的体积分数/10-6 | <2 | <0.5 | 3 |
总杂质的体积分数/10-6 | ≤10 | ≤5 | / |
颗粒 | 供需双方商定 | 供需双方商定 | 供需双方商定 |
金属离子 | 供需双方商定 | 供需双方商定 | 供需双方商定 |
烃(C1-C2):CH4、 C2H2 、 C2H4、C2H6、Hydrocarbon (C1-C2) |