N，O-双三甲硅基三氟乙酰胺是一种重要的医药中间体，可以降低含羟基化合物的极性，增加其挥发性，使样品更适合GC分析。主要作为中性硅烷化试剂用在氨基、氨基酸、酚、羧酸及烯醇的硅烷化保护中，作为一种温和的中性硅烷化试剂，不仅反应活性高、选择性好，还具有反应收率高、后处理简单等优点。